Uvođenje tehnologije nanošenja premaza vakuumskim isparavanjem

Tehnologija prevlačenja vakuumskim isparavanjem proizvođača strojeva za vakuumsko oblaganje uključuje premaz otpornim evaporacijskim premazom, premaz isparavanjem elektronskim snopom, premaz isparavanjem laserske zrake, visokofrekventni indukcijski premaz za zagrijavanje isparavanjem, itd. Sljedeća tablica navodi karakteristike nekoliko tehnologija prevlake evaporativnom obradom.

1. Prevlaka s otpornošću na isparavanje: izvor otpornog isparavanja koristi se za isparavanje materijala niske točke taljenja, kao što su zlato, srebro, cink sulfid, magnezijev fluorid, krom trioksid, itd. Izvori otpornog isparavanja općenito su izrađeni od volframa, molibdena i tantala.

2. Pokrivanje isparavanjem elektroničkim snopom: Nakon što se filmski materijal ispari i ispari zagrijavanjem elektronskim snopom, važna je metoda grijanja u tehnologiji vakuumskog isparavanja za kondenzaciju i stvaranje filma na površini supstrata. Postoji mnogo vrsta takvih uređaja. Uz široku primjenu tehnologije tankog filma, ne samo da su zahtjevi za tipovima membrana različiti, već su i zahtjevi za kvalitetom membrana stroži. Otpor isparavanju više ne može zadovoljiti potrebe isparavanja nekih metala i nemetala. Izvor topline elektronske zrake može dobiti mnogo veću gustoću energije od otpornog izvora topline, a vrijednost može doseći 104-109w/cm2, tako da se film može zagrijati do 3000-6000c. To osigurava bolji izvor topline za isparavanje vatrostalnih metala i nemetalnih materijala kao što su volfram, molibden, germanij, SiO2, AI2O3, itd. Štoviše, budući da se materijal koji treba ispariti stavlja u lonac hlađen vodom, isparavanje materijala spremnika i može se izbjeći reakcija između materijala spremnika i filmskog materijala, što je iznimno važno za poboljšanje čistoće filma. Osim toga, toplina se može izravno dodati na površinu filmskog materijala, tako da je toplinska učinkovitost visoka, a vodljivost topline i gubici toplinskog zračenja su mali.

3. Visokofrekventno indukcijsko grijanje, evaporacija: metal se zagrijava do temperature isparavanja korištenjem principa indukcijskog grijanja. Postavite lončić koji sadrži filmski materijal u središte spiralne zavojnice (beskontaktno) i prođite visokofrekventnu struju kroz zavojnicu, koja može natjerati metalni filmski materijal da generiše struju da se zagrije dok ne ispari.

Karakteristike izvora isparavanja indukcijskim grijanjem: 1) Brzina isparavanja je velika 2) Temperatura izvora isparavanja je ujednačena i stabilna i nije lako proizvesti fenomen prskanja kapljica aluminija 3) Izvor isparavanja se puni u jednom trenutku , nije potreban mehanizam za dovod žice, kontrola temperature je relativno laka, a rad je jednostavan 4) Zahtjevi za čistoću materijala filma su nešto širi.

4. Pokrivanje evaporacijskim zagrijavanjem: Metoda zagrijavanja slična metodi zagrijavanja elektronskim snopom je metoda grijanja lučnim pražnjenjem. Također ima karakteristike izbjegavanja kontaminacije otpornih materijala za zagrijavanje ili materijala za lončiće, a temperatura zagrijavanja je visoka, posebno pogodna za isparavanje vatrostalnih metala, grafita itd. s visokom točkom taljenja i određenom vodljivošću. U isto vrijeme, oprema koja se koristi u ovoj metodi je jednostavnija od opreme za grijanje elektronskim snopom, pa je to relativno jeftin uređaj za isparavanje.

5. Pokrivanje isparavanjem laserske zrake: Metoda korištenja pulsirajućeg lasera velike gustoće snage za isparavanje materijala u obliku tankog filma općenito se naziva lasersko isparavanje