Stroj za centrifugiranje
Postoje mnoge vrste magnetronskog raspršivanja, koje se mogu podijeliti na istosmjerno magnetronsko raspršivanje, radiofrekventno magnetronsko raspršivanje i srednjefrekventno magnetronsko raspršivanje prema korištenom izvoru napajanja.
Raspršivanje srednje frekvencije također je vrsta magnetronskog raspršivanja.
Postoje mnoge vrste magnetronskog raspršivanja, koje se mogu podijeliti na DC magnetronsko raspršivanje, radiofrekventno magnetronsko raspršivanje i srednjefrekventno magnetronsko raspršivanje prema korištenom izvoru napajanja. Napajanje koje se koristi u istosmjernom magnetronskom raspršivanju je istosmjerno visokonaponsko napajanje, obično 300-1000 V, koje karakterizira brza brzina raspršivanja, niska cijena i jeftino održavanje u kasnijem razdoblju. Međutim, samo metalne mete mogu biti raspršene. Ako je meta izolator, kako raspršivanje napreduje, meta će akumulirati veliku količinu naboja, što će rezultirati nemogućnošću nastavka raspršivanja. Stoga se DC magnetron raspršivanje obično koristi za metalne mete. Zbog svoje niske cijene i jednostavne strukture, naširoko se koristi u industriji. Frekvencija RF napajanja koja se koristi u RF magnetronskom raspršivanju obično je 13,56 MHz, što može riješiti problem da DC magnetronsko raspršivanje ne može raspršiti izolacijske mete. Karakteristike RF magnetronskog raspršivanja su: mogu se raspršivati i izolacijske mete i metalne mete, a prianjanje između filma i podloge je jako. Međutim, zbog složene strukture i uređaja, visoke cijene RF napajanja, visokih troškova održavanja, zračenja za ljudsko tijelo i potrebe za vanjskom mrežom za usklađivanje, nije prikladan za industrijsku proizvodnju. Magnetronsko raspršivanje srednje frekvencije često se koristi za reaktivno raspršivanje za pripremu filmova metalnih spojeva. Osim argona, mala količina reaktivnih plinova kao što su dušik, kisik, itd. dodaje se u šupljinu kako bi se molekule tih reaktivnih plinova taložile s atomima ciljnog materijala. na podlogu kako bi se formirao film spoja metala. Budući da se istosmjerno magnetronsko raspršivanje naširoko koristi u industriji, stol za magnetronsko raspršivanje uključuje vakuumski sustav, sustav nanošenja premaza, plin i kontrolni sustav.
Primjena
Parametar
Naša tvrtka
Popularni tagovi: stroj za centrifugiranje, Kina, dobavljači, proizvođači, tvornica, prilagođeno, kupnja, cijena, ponuda
Pošaljite upit
